1月11日，在位于台州光电产业创新中心（以下简称“光电中心”）的光电技术高端应用研发基地，多项“卡脖子”项目正在这里研发。不久前，光电中心研制的“高端制程掩模基板抛光专用设备”，被国内一家龙头企业相中，成功签下首批量产化合同。这款关键装备不仅填补了国内技术空白，还展现了“光电装备概念验证中心”的建设成效。

一台“抛光神器设备”

破解技术困局

这款产品有多重要？掩模版是半导体制造的核心基础材料，其衬底的抛光设备因技术门槛极高、工艺复杂，长期以来几乎被国外企业垄断，导致国内高端制程掩模版上游产业链关键环节存在“断层”，严重制约产业自主可控与安全发展。突破这一瓶颈，不仅关乎单一装备的国产化，更关系到国家在高端光掩模领域的战略布局与产业安全。

而光电中心研发的这台设备，在实现技术突围的同时，还通过了严苛检验——5个批次的联合试验，合格率达到100%。这是光电中心自开展光电装备研发和制造以来，第一款成功实现从研发到市场转化的产品，也是第一款投入市场的“椒江智造”光电装备，进一步夯实台州光电产业迈向高端化发展的行业地位。

创新“孵化模式”

护航技术落地

这一突破的背后，离不开椒江打造的光电装备概念验证中心。很多实验室里的科研成果，往往因为技术不成熟、市场不认可，难以变成实实在在的产品。这个中心就像技术成果的“护航员”，提前排查风险，打通产业化路径。

2024年3月，光电装备概念验证中心启动了这一项目的验证工作，从技术可行性、知识产权等维度全面评估，把潜在问题提前解决；同年7月，1000万元研发基金快速到位，工程团队全程跟进优化。科研人员接连攻克三大技术难题，拿下20多项专利，构建起完整的技术保护体系。这种“风险前置防控+路径精准指引”的“超前验证”服务模式，为实验室技术快速走向市场提供了新路径。

光电装备概念验证中心由台州光电产业创新中心牵头，联合台州市产品质量安全检测研究院、台州中科神光科技有限公司共建，构建了覆盖“原理验证-产品与场景验证-技术可行性分析-商业评估-资本对接-产业孵化”的全流程服务体系，有效打通了从基础研发到产业化的关键路径，还在2025年7月入选浙江省首批建设布局清单。